壓力傳感器的分類

壓力傳感器是運用最為廣泛的一種傳感器，應用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業(yè)。

常用的壓力傳感器有應變片壓力傳感器、陶瓷壓力傳感器、分散硅壓力傳感器、藍寶石壓力傳感器、壓電壓力傳感器。壓力傳感器按用途分類主要是壓力監(jiān)視、壓力丈量和壓力控制及轉(zhuǎn)換成其他量的丈量。按供電方式分為壓阻型和壓電型傳感器，前者是被動供電的，需要有外電源。后者是傳感器自身產(chǎn)生電荷，不需要外加電源，依據(jù)不同領域?qū)毫φ闪康木炔煌譃榈途群透呔鹊膲毫鞲衅鳌?/span>

傳統(tǒng)的壓力傳感器以機械結(jié)構型的器件為主，以彈性元件的形變指示壓力，但這種結(jié)構尺寸大、質(zhì)量重，不能提供電學輸出。隨著半導體技能的發(fā)展，半導體壓力傳感器也應運而生。其特點是體積小、質(zhì)量輕、準確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技能的發(fā)展，半導體傳感器向著微型化發(fā)展，而且其功耗小、可靠性高。

半導體壓電阻型：半導體壓電阻抗分散壓力傳感器是在薄片表面形成半導體變形壓力，經(jīng)過外力（壓力）使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果，從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號。

靜電容量型：靜電容量型壓力傳感器，是將玻璃的固定極和硅的可動極相對而形成電容，將經(jīng)過外力（壓力）使可動極變形所產(chǎn)生的靜電容量的變化轉(zhuǎn)換成電氣信號。（E8Y的動作原理便是靜電容量方式，其他機種采用半導體方式